盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
首页 > 产品中心 > 半导体行业专用仪器 > PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备
产品详情
PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备
PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
盛吉盛
关注度:
32
样本:
暂无
型号:
PVD-Auroflux6/8吋薄膜沉积设备
产地:
浙江
信息完整度:
典型用户:
暂无
索取资料及报价
认证信息
 
名 称:盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:528
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

Auroflux 设备适用于Si/SiC/GaN基功率器件6/8寸晶圆金属互联层薄膜淀积工艺。该机台为多腔室前后双平台结构实现晶圆安全准确传输,支持多工艺模块,能够进行全自动工艺处理. 其中主要工艺为晶圆表面预清洗和金属薄膜沉积.广泛应用于集成电路,化合物半导体,功率半导体以及MEMS等领域。当前主要薄膜沉积工艺如下:

AlCu/AlSiCu/Ti/TiN/Hot Al

Ni/Cr/Au/Ag/Ta/Cu/AlN/ALSCN


  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言